10级微电子洁净室

微电子洁净室概述

微电子产品生产过程中广泛应用了高精密制造设备，这使微电子工业洁净厂房的形式、构造和整体建造成本都发生了极大的变化。微电子工业洁净厂房采用多功能组合式建筑形式日益增多，微电子产品生产工艺及其制造设备的集成化、过程控制自动化水平日益提高，安全设施日益完善，生产过程所需的作业人员大大减少，这些都提高了微电子产品生产过程的稳定性和安全可靠性，为生产环境创造了良好的条件。

微电子洁净室结构：

FFU+BAR结构+高架地板，并设置回风墙，顶部整个做为静压箱的设计。

微电子洁净室洁净度级别：